Griyaj anplasman | 20um |
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
Ekspansyon tèmik | 10.6 x 10 -6 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Rezolisyon | 0.5-1-5μm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Repetebilite | ±1 enkreman | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Vitès maksimòm m/min | 60(5μm);20 (1μm) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Kalite pwodiksyon | TTL / EIA422A | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Max. Akselerasyon | 20m/s² | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Pwoteksyon | IP54 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Ekipman pou pouvwa | 60mA Max | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Faz deplasman | 90 ° ± 5 ° elektrik | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Tanperati opere | 0°-- 50° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Tanperati depo | -20°-- 80° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Imidite | 100% pa kondanse |