Griyaj anplasman | 20um |
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
Ekspansyon tèmik | 10.6 x 10 -6 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Rezolisyon | 0.5-1-5μm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Repetabilite | ±1 ogmantasyon | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Vitès Maksimòm m/min | 60 (5μm); 20 (1μm) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Kalite sòti | TTL / EIA422A | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Akselerasyon Maksimòm | 20m/S² | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Pwoteksyon | IP54 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Alimantasyon pouvwa | 60mA Maksimòm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Deplasman faz | 90°±5° elektrik | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Tanperati fonksyònman | 0°-- 50° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Tanperati depo | -20°-- 80° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Imidite | 100% pa kondanse |