
| Griyaj anplasman | 20um |
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| Ekspansyon tèmik | 10.6 x 10 -6 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Rezolisyon | 0.5-1-5μm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Repetabilite | ±1 ogmantasyon | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Vitès Maksimòm m/min | 60 (5μm); 20 (1μm) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Kalite sòti | TTL / EIA422A | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Akselerasyon Maksimòm | 20m/S² | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Pwoteksyon | IP54 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Alimantasyon pouvwa | 60mA Maksimòm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Deplasman faz | 90°±5° elektrik | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Tanperati fonksyònman | 0°-- 50° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Tanperati depo | -20°-- 80° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Imidite | 100% pa kondanse |